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PSA

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  • PSA 고정

    1. 1. 개요
      1989년 하류사업전개 및 사업다각화의 일환으로 PSA공장을 건설하게 되었고 일본의 미쯔비시와 이와끼(IWAKI) Glass사로부터 기술을 도입하여 VLSI급 반도체용 황산을 생산하게 되었다. 현재는 자체 기술 개발 및 공정/설비 개선을 통해 고품질의 고순도 황산을 생산하고 있으며 지속적인 품질 개선 활동이 항시 진행중이다. 국내 유수 반도체 업체에 고순도 황산을 공급하고 있으며 연간 3만톤 이상의 규모로 가동되고 있다.
    2. 2. 공정소개
      PSA공정은 크게 증발, 흡수, 탈기, 저장, 포장으로 구분할 수 있다. 불순물에 의한 오염을 방지하기 위하여 원료가스는 L-SO3를 이용하고 특수한 설비재질을 이용하는 것을 제외하면 규모의 차이는 있지만 공업용 황산공장과 원리는 같다고 할 수 있다.
      SO2 + H2O → H2SO4
      일반 공업용 황산 제조에는 흡수탑에서 FRW를 사용하지만 여기서는 초순수 (UPW →현재 제조할 수 있는 가장 이론 순수에 근접한 물)를 사용하고 있다.