본문바로가기


전기동

LNB 메뉴
  • 사업
    • 전기동
    • 귀금속
    • 황산
    • PSA
    • 희소금속
    • Silver 소재
  • 기술
  • R&D

PSA

HOME사업소개PSA
화성 공정도 관련이미지
  • PSA 고정

    1. 1. 개요
      1989년 하류사업전개 및 사업다각화의 일환으로 PSA공장을 건설했고, 일본의 미쯔비시와 이와끼(IWAKI) Glass社로부터 기술을 도입하여 VLSI급 반도체용 황산을 생산하기 시작했습니다. 현재는 자체 기술 개발 및 공정/설비 개선을 통해 고품질의 고순도 황산을 생산하고 있으며, 지속적인 품질개선활동을 항시 진행중입니다. 국내 유수 반도체업체에 고순도황산을 공급하고 있습니다.
    2. 2. 공정소개
      PSA공정은 크게 증발, 흡수, 탈기, 저장, 포장으로 구분할 수 있습니다. 불순물에 의한 오염을 방지하기 위하여 원료가스는 L-SO3를 이용합니다. 특수한 설비재질을 이용하는 것을 제외하면, 규모의 차이는 있지만 공업용 황산공장과 원리는 같습니다.
      SO2 + H2O → H2SO4
      일반 공업용황산 제조에는 흡수탑에서 FRW를 사용하지만, 여기서는 초순수(UPW →현재 제조할 수 있는 가장 이론적 순수에 근접한 물)를 사용하고 있습니다.